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在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，露點儀是一種非常重要的測量儀器，用于測量氣體中的濕度。露點儀的選擇直接影響到半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。下面就介紹一些選擇露點儀的要點。首先，要選擇適合自己生產(chǎn)需求的露點儀。不同的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝需要不同的露點測量范圍。一般來說，露點儀的測量范圍在-80℃~+80℃之間，但也有一些特殊的要求，需要根據(jù)實際需要進(jìn)行選擇。其次，要考慮露點儀的精度和穩(wěn)定性。精度和穩(wěn)定性是衡量一臺露點儀的重要指標(biāo)。精度越高，測得的數(shù)據(jù)就越準(zhǔn)確；穩(wěn)定性越好，儀器校準(zhǔn)的次數(shù)就越少，可以...